超小型超音波線性平台 - XY軸平台
高保持力
超靜音
無雜訊
超靜音
無雜訊
高保持力
超靜音
無雜訊
超靜音
無雜訊
產品說明
XY軸平台
行程XY4mm
‧推力60gf ,移動速度10mm/s
‧解析度1μm/p (A,B相) Z相 (非同步) 或0.1,0.5μm/p